정답: 1번

산업안전보건법상 화학설비의 부속설비로는 일반적으로 분진 처리 설비가 포함됩니다. 사이클론, 백필터, 전기집진기 등은 분진을 처리하는 장치로, 화학설비의 안전한 운영을 위한 부속설비에 해당합니다. 나머지 보기는 주로 열교환기류나 가공설비로 분류됩니다.